Стр. 34 - ГОСТ ИСО 14644

целостность под давлением
2.110
Ч
часовая интенсивность утечки
2.79
частица
(
общий термин)
2.102
частица
(
термин для классификации чистоты воздуха)
2.103
чистая зона
2.34
чистое помещение
2.33
чистое помещение биологического назначения
2.24
чистота
2.32
Э
эксплуатируемое
2.97
эффективность счета
2.49
Алфавитный указатель эквивалентных терминов на
английском языке