[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.1.4]
2.31
установка очистки воздуха
(
clean air device): Оборудование, предназначенное для
подготовки и распределения чистого воздуха с целью достижения определенных параметров
окружающей среды.
[
ИСО 14644-4:2001, статья 3.2]
2.32
чистота
(
cleanliness): Состояние продукта, поверхности, устройства, газа, жидкости и т.п.,
при котором загрязнения не превышают установленный для них уровень.
Примечание - Возможно загрязнение частицами, которое может быть биологическим,
молекулярным или другим.
[
ИСО 14644-4:2001, статья 3.3]
2.33
чистое помещение
(
cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация
взвешенных в воздухе частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму
поступление, выделение и удержание
частиц
(2.102)
внутри помещения, и позволяющее при
необходимости контролировать другие параметры, например температуру, влажность и давление.
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.1.1], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.1.1], [ИСО 14698-1:2003, статья
3.1.5], [
ИСО 14698-2:2003, статья 3.5]
2.34
чистая зона
(
clean zone): Пространство, в котором контролируется концентрация
взвешенных в воздухе частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму
поступление, выделение и удержание
частиц
(2.102)
внутри зоны, и позволяющее при
необходимости контролировать другие параметры, например температуру, влажность и давление.
Примечания
1
Чистая зона может быть открытой или замкнутой и находиться как внутри, так и вне
чистого
помещения
(2.33).
2
Термин соответствует установленному в ИСО 14644-1:1999, статья 2.1.2, ИСО 14644-3:2005,
статья 3.1.2.
2.35
приемка
(
commissioning): Последовательность плановых
испытаний
(2.130)
и
регулировок, выполняемых для ввода в эксплуатацию
системы чистых помещений
(2.82)
в
соответствии с заданными требованиями.
[
ИСО 14644-4:2001, статья 3.4]
2.36
конденсирующееся загрязнение
(
condensable): Вещество, которое может оседать на
поверхности в
чистом помещении
(2.33)
в эксплуатируемом состоянии путем образования
конденсата.
