2.89
М-дескриптор
(
М descriptor): Концентрация
макрочастиц
(2.90)
в 1 м воздуха,
выраженная через эквивалентный диаметр, который характеризует используемый метод контроля.
Примечание - М-дескриптор может рассматриваться как верхний предел для средних значений
в точках отбора проб (или как верхний доверительный предел, зависящий от числа точек отбора
проб, по которому оценивается
чистое помещение
(2.33)
или
чистая зона
(2.34)).
М-дескрипторы
не могут использоваться для определения классов
чистоты
(2.32)
по взвешенным в воздухе
частицам, но они могут указываться независимо или совместно с классами чистоты по
взвешенным в воздухе частицам.
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.3.2], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.2.5]
2.90
макрочастица
(
macroparticle):
Частица
(2.102)
с эквивалентным диаметром более 5,0 мкм.
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.2.6], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.2.4]
2.91
медиана диаметров частиц по массе
(
mass median particle diameter; MMD): Диаметр
частицы
(2.102),
определение которого основано на распределении массы частиц как функции их
диаметра.
Примечание - Эта медиана определяется таким образом, что половина массы частиц в
распределении имеет диаметр меньший, а другая половина - диаметр больший, чем массовая
медиана.
[
ИСО 14644-3:2005, статья 3.2.6]
2.92
плоскость измерений
(
measuring plane): Площадь поперечного сечения, в которой
проводятся
испытания
(2.130)
или измеряется скорость воздушного потока.
[
ИСО 14644-3:2005, статья 3.4.3]
2.93
молекулярные загрязнения
(
molecular contamination): Молекулярные образования
химической природы (не частицы), которые могут оказать отрицательное влияние на продукт,
процесс или оборудование.
[
ИСО 14644-8:2006, статья 3.1.1]
2.94
мониторинг
(
monitoring): Наблюдения, выполненные путем контроля параметров в
соответствии с определенным методом и программой для получения данных о работе чистых
помещений.
Примечание - Эта информация может быть использована для определения тенденций
изменения параметров воздуха чистого помещения в
эксплуатируемом
(2.97)
состоянии и для
обеспечения стабильности процесса.
[
ИСО 14644-2:2000, статья 3.1.3]
2.95
неоднонаправленный поток воздуха
(
non-unidirectional airflow): Поток воздуха,
