распределение скоростей которого обусловлено вихревым перемешиванием воздуха,
поступающего в
чистое помещение
(2.33)
или
чистую зону
(2.34),
с внутренним воздухом.
[
ИСО 14644-4:2001, статья 3.6], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.4.4]
2.96
напряжение смешения
(
offset voltage): Электрический потенциал, накапливающийся на
первоначально не заряженной изолированной проводящей пластине при помещении ее в
ионизированный воздух окружающей среды.
[
ИСО 14644-3:2005, статья 3.5.2]
2.97
эксплуатируемое
(
operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует
установленным образом с установленной численностью
персонала
(2.108),
работающего в
соответствии с документацией.
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.4.3], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.7.3], [ИСО 14644-5:2004, статья
3.2.3], [
ИСО 14698-1:2003, статья 3.2.3]
2.98
оператор
(
operator): Лицо, работающее в
чистом помещении
(2.33)
или выполняющее
технологические операции, связанные с выпуском продукции.
[
ИСО 14644-5:2004, статья 3.1.6]
2.99
органическое загрязнение
(
organic): Углеводород с наличием или отсутствием
кислорода, азота или других элементов.
[
ИСО 14644-8:2006, статья 3.2.7]
2.100
выделение
(
outgassing): Выделение материалом газов или паров.
[
ИСО 14644-8:2006, статья 3.1.5]
2.101
окислитель
(
oxidant): Вещество, которое после осаждения на поверхность или продукт
приводит к образованию оксидов (О /О ) или участвует в реакции окисления.
[
ИСО 14644-8:2006, статья 3.2.8]
2.102
частица
(
общий термин) (particle): Мельчайшая частица вещества с определенными
физическими границами.
Примечание - Термин соответствует установленному в ИСО 14644-4:2001, статья 3.7, и ИСО
14644-5:2004,
статья 3.1.7.
2.103
частица
(
термин для классификации чистоты воздуха) (particle): Твердый или жидкий
объект, который в целях классификации чистоты воздуха характеризуется совокупным
распределением, основанным на пороговом размере (нижнем пределе) в диапазоне 0,1-5,0 мкм.
Примечание - Термин соответствует установленному в ИСО 14644-1:1999, статья 2.2.1.
