2.104
концентрация частиц
(
particle concentration): Число отдельных
частиц
(2.102)
в единице
объема воздуха.
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.2.3], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.2.7]
2.105
размер частицы
(
particle size): Диаметр сферы, которая в контролирующем приборе дает
отклик, равный отклику от оцениваемой
частицы
(2.102).
Примечание - Для дискретных счетчиков частиц, работающих на принципе рассеяния света,
используется эквивалентный оптический диаметр.
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.2.2], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.2.8]
2.106
устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц
(
particle size cutoff device):
Устройство, помещаемое на входе в
дискретный счетчик частиц
(2.59)
или
счетчик ядер
конденсации
(2.37)
для удаления
частиц
(2.102)
размером менее установленного.
[
ИСО 14644-3:2005, статья 3.6.13]
2.107
распределение частиц по размерам
(
particle size distribution): Кумулятивное
распределение
концентрации частиц
(2.104)
в зависимости от их
размеров
(2.105).
[
ИСО 14644-1:1999, статья 2.2.4], [ИСО 14644-3:2005, статья 3.2.9]
2.108
персонал
(
personnel): Лица, входящие в
чистое помещение
(2.33).
[
ИСО 14644-5:2004, статья 3.1.8]
2.109
предфильтр
(
pre-filter): Воздушный фильтр, установленный перед другим фильтром с
целью уменьшения загрязнения этого фильтра.
[
ИСО 14644-4:2001, статья 3.8]
2.110
целостность под давлением
(
pressure integrity): Способность обеспечить оцениваемую
в количественном выражении скорость утечки под давлением, воспроизводимую при испытаниях.
[
ИСО 14644-7:2004, статья 3.15]
2.111
технологическое ядро
(
process core): Пространство, в котором выполняется
технологический процесс и осуществляется связь процесса с окружающей средой.
[
ИСО 14644-4:2001, статья 3.9]
2.112
аттестация
(
qualification): Процесс, в ходе которого демонстрируется, что объект (вид
деятельности, процесс, продукт, организационная система или их комбинация) удовлетворяет
заданным требованиям.
